季华实验室建成设备-工艺-材料协作开发的半导体装备研发和工艺验证中试平台，具备 6 英寸 SiC 高温外延生长装备生产能力和6 英寸 SiC 外延工艺验证能力。SiC外延生长装备中试平台总面积共约825 m2，已购置仪器设备16台套，设备净值743.02万元。用于实验条件保证、设备性能验证以及SiC外延片性质测量，所有仪器设备均已到位并正常使用中。
SiC外延生长装备中试平台通过外延工艺实验有效检验了SiC高温外延生长装备的性能稳定可靠，并实现了设备技术改进的有效反馈，有力促进了SiC高温外延生长装备开发和产业化。

可以为用户提供上线前的技术验证及在批量生产前的工艺验证，同时还可以为用户提供操作技术人员的培训，目前已经为超过4家类似客户提供了相关服务与培训。

季华实验室是广东省委、省政府于2017年12月启动的首批省实验室之一，以打造先进制造科学与技术领域国内一流、国际高端的战略科技创新平台为目标，重点聚焦新型显示装备、半导体技术与装备、高端数控机床，以及佛山传统产业转型升级四大主要方向开展关键核心技术系统攻关和重大装备研制。