发明人:宗肖航; 赵德胜; 张宝顺
本实用新型公开了一种能够增加键合中晶圆对准效率的装置,包括水平设置的定位环和竖直设置的引导杆,所述引导杆穿过所述定位环并与所述定位环的内侧相连接,且所述引导杆围绕所述定位环设置;所述引导杆包括弧形引导段和直线引导段,所述弧形引导段与所述直线引导段直接连接,且所述弧形引导段位于所述直线引导段的上部。采用本实用新型,具有提升对准精度和提高对准效率的优点。
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