广东中科半导体微纳制造技术研究院为广东省省属科研事业单位，一期投入运营资金12亿元，占地100亩，一期建设35000平方米科研及办公场地，建有洁净实验室23000平米，二期规划建设12万平米专业化半导体产业载体。研究院面向国家重大战略及产业技术攻关需求，布局“先进显示与探测技术”、“能源电子与5G通信”、“智能MEMS传感”等研究方向，做强从关键材料到核心器件与系统应用的科研力量，开展大尺寸硅基氮化镓关键材料外延、智能MEMS传感、功率器件、高精度柔性印刷电子器件等多种半导体材料与器件工程化研究。面向重大科研任务实施及区域产业发展需求，研究院纳米加工平台推动公共支撑服务体系建设，针对光电子器件、功率器件、MEMS器件、Micro-LED等多种半导体分立器件，面向企业、高校、科研院所，开展GaN外延材料生长、芯片加工、器件测试、器件封装等全流程研发、中试流片及封装测试服务，具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓（GaN）晶圆加工能力，并兼容2英寸、4英寸、6英寸加工尺寸晶圆。