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半导体激光器芯片及降低半导体激光器腔面表面态的方法
类型:
技术服务-新技术委托开发
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涉及一种半导体激光器芯片及降低半导体激光器腔面表面态的方法,属于半导体材料与器件技术领域。本科技发明形成的腔面膜可以有效避免氧和其它杂质对腔面的污染,可以减少腔面的表面态;工艺简单、成本低,可显著提高半导体激光器的可靠性。

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