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晶圆检测高分辨扫描电子显微镜
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用于晶圆、器件表面形貌的表征、观察。利用聚焦的高能电子束作为光源,电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜,在末级透镜上部扫描线圈的作用下在试样表面做光栅状扫描,产生各种同试样性质有关的物理信息(如二次电子,背反射电子),对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
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