广东中科半导体微纳制造技术研究院
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精密印刷电子
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科技产品-电子信息
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与传统的光刻-显影等微纳加工技术相比,印刷增材制造技术可以实现功能材料的定向沉积,因此具有工艺流程简单、制程工艺温度低、可柔性加工、绿色环保、易于大批量生产制造等优势,是传统硅基微电子加工制造技术的良好补充互补。然而,受限于工艺设备以及墨水自发运动的特性,传统的印刷制造技术的精度仅为50微米左右,无法直接满足1-50微米精细电路的制备需求。精密印刷团队围绕着信息传感、物联网、汽车电子、智能家居等核心应用需求,以实现1-50 微米精细电子功能结构为目标,开展包括表面能差异图案化工艺、关键电子墨水材料、印刷工艺制程、集成电子产品等的开发。近年来已经在高精密电路、电容传感、电磁屏蔽、印刷显示领域取得了系列研究成果。

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