本发明是一种绝对光栅尺的多轨道编码方法。为了解决微纳加工测量中,增量编码的累积误
差和绝对编码的硬件复杂等问题,本发明使用一种基于单、多轨道适用的p元M序列伪随机
码的绝对编码方式,本编码方式适用于直线绝对位置编码器、圆盘绝对角度编码器,可以在
任何时候定位,不需要开机返零。并且带增量编码条,可以使用相位细分法提高测量精度。
本编码是一种易于生成、复制和加工、编码容量大、解码成本低、宏微复合的绝对位置编码
方法。本编码包括普通单轨二元M序列绝对光栅尺直线编码、M序列圆盘编码器、扩码方式
多码道伪随机码直线编码、扩码方式p元M序列伪随机码,结合上述编码得到的最大编码方
式。