本实用新型提出动态特性可调宏微一体化复合平台,当宏微平台动子同时驱动时,可实现整
体大范围的高速运动;当出现运动偏差时,微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实
现精密位移输出,可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制,可以实现高速
精密运动,安装使用方式与传统平台一致,方便推广应用,同时设置有刚度、频率调节机构
和可变阻尼器,使微动平台在任意频率下能传递宏动平台运动且隔离振动,并实现高精度的
位移补偿,同时可变阻尼器的阻尼大小与刚度频率参数配合,保证任意频率下的高精度位移
补偿,提高工作频率范围。