芯片板级扇出封装中试平台总面积2500平方米,在洁净车间建设方面:已建成1000平方米万级洁净车间,其中300平米达到千级洁净标准,车间建设已获得消防评估、环境评估、危废评估验收通过,达到生产标准;在中试平台建设方面:已投入塑封、贴片、清洗、蚀刻、退膜等30余台半导体封装装备(其中电镀、溅射等设备为联合体成员共享使用),具备芯片板级扇出封装全流程样品制备能力。同时,创新中心建成测试服务中心,引入扫描电镜、能谱仪、3D显微镜、AOI等20余台测试设备,为本地企业开展芯片测试分析服务。平台配备的共性技术研发、中试孵化、测试验证以及行业支撑服务等方面的科研基础设施、仪器设备和中试线,原值为5445.78万元。
1、芯片封装共性技术研发;
2、芯片封装中试样品制造服务;
3、国产封装装备及材料验证服务;
4、人才引进及培养。