发明人：徐成; 毕海; 王玉; 李义; 杨万里

本申请公开一种六自由度圆弧形磁浮微动台及器件转移装置，涉及磁悬浮技术领域，其中，六自由度圆弧形磁浮微动台包括：定子；动子，且动子与定子平行设置；环形永磁阵列，环形永磁阵列设置在动子上；至少三个第一绕组，三个第一绕组设置在定子上；至少三个第二绕组，三个第二绕组设置在定子上。本申请提供的上述方案，可以通过改变三个第一绕组电流大小和方向来调节磁浮支撑力，从而实现Z、Rx、Ry这三个自由度的运动。由于第二绕组的受力方向为径向，当三个第二绕组到环形永磁阵列中心的距离不同时，三个第二绕组在径向受力的同时也会产生旋转转矩，从而实现了微动台在X、Y和Rz向运动的目的，进而方便了高精密大型设备的精确定位。