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复杂曲面超精密柔性加工设备
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功能:该设备主要用于600mm及以下口径的平面、球面、同轴/离轴非球面、自由曲面光学元件(典型光学材料如微晶、ULE、石英、Si、SiC、铝合金等材料)的高精度抛光修形加工。

技术指标:

加工范围参数(mm):Φ70~550;可加工面型:平面、球面、非球面,柱面以及特定自由曲面;抛光精度:RMS≤1/150λ(λ=632.8nm)

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