功能:主要用于喷墨打印的墨水快速均匀沉积,OLED Spin制程工艺的开发等;
材质:腔体SUS304不锈钢, 门采用铝合金(门设置在手套箱内部, 较链连接开启);
带过载保护功能;
真空量测设备:进口英富康或普发全量程真空计;设备操作便利,具有专利型设计。
主要技术指标:腔体SUS304不锈钢,门采用铝合金,腔体尺寸:不小于350mm*350mm*300mm等
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