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功能:胶圈密封、金属密封或磁偶合密封技术,电极采用陶封技术,运动采用金属焊接波纹管结构

技术指标:

1. 方型真空室,前开门后滑门结构,材质为高真空专业SUS304不锈钢,极限真空度:5 X 10-5Pa,抽速:40分钟7 X 10-4Pa(新设备,充干燥N2)。
2. 真空系统:1300LKYKY分子泵。VRD-30机械泵。
3. 有机蒸发源:10只,加热400度;金属蒸发源:2只。可加200A;整圆周分布。

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