功能：测试半导体材料衬底外延的掺杂浓度

技术指标：

1. 系统结构：由电脑，移动平台，信号源和探头等组成。 2. 移动平台可以满足4-8英寸外延片测试。测试点可以满足200个点的测试。 3. ▲信号源：信号源有方波和正弦波。测试频率在2Hz-1MHz,且连续可调。 (1) 电压在+/- 100 V，可施加电压的分辨率：≤ 20毫伏。 (2) 电容测量范围：2pF～20000pF。电容测量分辨率：不超过全刻度的0.1%； 电容测量准确度：不超过全刻度的1%；电容测量重复性：≤0.4% (标准片) (3) 可施加电流范围：1纳安~1毫安;电流测量范围：1皮安~1毫安;电流测量分 辨率：不超过全量程的0.5%;电流测量准确度：不超过全量程的0.5%。 4. ▲探头： (1) 探头为点状探头和点环状结构 (2) 探头尺寸可以选择。 (3) 探头面积重复性不大于1%。