功能：

1、可实现TEM样品可单面或双面低角度(最小4°)离子减薄的功能。

2、可对SEM样品进行离子束抛光，样品尺寸直径≥25mm,高度≥12mm。

3、可对SEM样品进行离子束刻蚀，突出晶界或不同组分边界。

主要技术指标：

1.1离子束能量：0.8keV至10keV
1.2离子枪电流：≤4.5mA（每把离子源）
1.3离子束密度：≥10mA/cm2（每个离子源）
1.4离子束半高宽：≥0.8m(10keV),≥2.5mm(2keV);
2.样品台
2.1样品台旋转转速：0.6至10rpm
2.2平面摆动角度：最大360°，每步1°
2.3垂直摆动距离：±5mm,精度0.1mm
2.4样品台容纳最大直径为3mm的样品