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功能：飞行时间二次离子质谱主要通过质谱分析、表面成像(一维成像/三维城像)、深度剖析等功能从而分析样品表面元素成分和分布[3]。
主要技术指标：
质量分辨率(29u)
17,000(FWHM
质量分辨率(200u)
26,000(FWHM
质量分辨率(PET,104u)
18,000(FWHW
灵敏度
8.0E8 Al+/nC
@7,000(FWHM
Delayed Extraction模式下的最佳性能
90nm@350pA
@9,000(FWHM
景深
400um
质量范围
12,000u
质量精度
1mu for m 100 u
10 ppm for m 100 u
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