功能：真空模式最小可检氦漏率：＜5×10-13Pa m3/s；高灵敏度的检测漏气的仪器。

主要技术指标：

最小可检氦漏率（真空模式） 5x10-12毫巴 x升/ 秒 （5x10-13帕 米 3 / 秒） 最小可检氦漏率（吸入器模式） 5x10 -8毫巴 x升/秒 （5x10-9帕 米 3 / 秒） 最大允许入口压强 15毫巴 漏率讯号的时间常数 1秒 漏率显示量程 1x10-12至 1x10-1毫巴 x 升/秒 至待用状态需要时间 3分钟 内置漏孔： 10E-7mbarl/s 内置漏孔， 反应时间： 0.5秒 质谱仪 180 o磁偏转双聚焦不锈钢质谱室 离子源 长效双离子源灯丝（镀钇铱丝） （保修 3年） 可检质量数 2,3 和 4原子质量单位 粗抽泵： 25米 3/小时 抽速涡旋泵 对氦抽速： 粗检模式： 7升/秒 精检模式： 8升/秒 超精检模式： 2.5升/秒 图形记录仪输出 2x0－10伏线性/对数 测试口连接法兰 1xDN25KF 电源 220V， 50Hz 尺寸（长 x宽 x深） 1068x525x850毫米 重量 110公斤。