功能:通过DDL调节负载,模拟腔室等效负载的动态变化
技术指标:
1.外观尺寸:540mm×500mm×130mm
2.重量:约13kg
3.A电源:直流,电压24V(额定电压23-25V),电流く5A
4. A射频输入连接器:7/16 L29 Female
5.射频输出连接器:固定连接器
6.★频率:27.12MHz
7.冷却方式:空气冷却
8.★最大通过功率:27.12MHz下最大4kW
9.ム匹配时间:少于3s
10.控制电机:2个直流电机
11.环境温度:10-40℃,湿度:20-80%
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