发明人:陈方鑫; 韦俊杰; 毕海
本发明涉及微夹持器技术领域,具体涉及一种用于显微操作的微夹持器及其调节方法,所述微夹持器整体为对称结构,包括二级柔顺放大机构、两个调节机构和夹持机构,所述调节机构一端与所述二级柔顺放大机构连接,另一端与所述夹持机构连接。本发明中通过设置第一压电陶瓷、第二压电陶瓷可同时实现微夹持器的多个自由度运动,即夹爪的夹持运动、前后搓动和上下搓动;通过细胞夹爪采用MEMS工艺制作,并通过胶粘方式与夹爪臂连接,可简化加工工艺,降低微夹持器的成本;通过设置手动调节器,通过X向调节螺钉、Y向调节螺钉分别调节夹爪的水平、竖直方向,可实现显微镜的高精度安装调节,将夹爪的相对安装误差控制在1μm。
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