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13.56MHz 2kW自动阻抗匹配器
类型:
科技产品-先进制造与自动化
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射频电源阻抗匹配器作为射频电源相配套的必要设备,也随着等离子体技术的普及广泛应用到多种等离子体工艺之中。自动阻抗匹配器具备自感知、自适应、自调节等功能,可实现阻抗匹配自动化。团队通过优化工艺,极大的整合了等离子体工艺中自动化过程,实现了无接触式匹配过程,成功研发自动阻抗匹配器13.56-Auto-Match,目前正致力于产业化推进。

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