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性能指标：①有效口径：6英寸 ②干涉测量精度：PV=λ/10、RMS=λ/200（λ=632.8nm）； ③QPSI抗震模式下重复测量精度：λ/10000（λ=632.8nm）； ④CCD分辨率：1024*1024； ⑤具备Alignment功能。
主要应用：对光学元件在抛光阶段进行干涉测量，从而获得其面形精度。
共享要求：（1）有效口径≤6英寸； （2）可检测样品形状：平面，球体，非球面，自由曲面。
仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。
收费标准
亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。
委托测试费用标准：300元/小时
送样测试费用标准：300元/小时
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