主要技术指标：
1、离子源种类：液态Ga离子源。 2、交叉点分辨率：4.5nm @ 30kV (多边法)，2.5nm @ 30kV (选边法)。 3、加速电压：0.5kV - 30 kV。 4、束流强度：0.1pA - 60nA。 5、具备金属沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C、W等金属的沉积。 6、 配置Pt气体沉积、C气体沉积、SiO2气体沉积等三路气体。 7、电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝。 8、分辨率：在最佳工作距离：0.6nm @ 15kV；0.8nm @ 1kV； 9、束交叉点分辨率：0.6nm @ 15kV；1.3nm @ 1kV。 10、加速电压：200V－30KV (连续可调)。 11、电子束减速模式：-4kV 至 0V (着落电压：20V – 30kV)。 12、束流强度：0.8pA-90nA。 13、具备可加热式物镜光阑。 14、具有恒功率物镜结构。

主要功能：
离子束系统：液态稼离子源，分辨率为4.5nm@30kV, 拥有独立分立式气体注入系统，可实现10中以上备选方案；具备Pt、C、W等金属沉积系统和Pt、C、 SiO2三路气体沉积； 电子束系统：带有单色器的场发射灯丝，具有超高的分辨率 0.6nm@15kV；

主要学科领域：
物理学,材料科学

服务内容：
提供测试服务

预约服务网址：
https://gxw.jihualab.com:8127/#/home