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性能指标：①可用于2100mm及以下口径的光学元件的超精密抛光加工； ②加工精度RMS优于3nm； ③可加工CVD SiC、Si、光学玻璃、红外材料、金属材料等；
主要应用：基于真空下的离子溅射技术，可以实现原子量级的材料去除，是光学元件高精度高效抛光的核心设备。
共享要求：无
仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。
收费标准
亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。
委托测试费用标准：（1）委托加工：3200 元/小时； （2）耗材除常规提供的以外，其他皆按成本单独计算。 【说明】收费标准仅针对单项工艺，如有特殊要求，费用另行计算并折算机时计收。
送样测试费用标准：无
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