性能指标：最高空间分辨率0.5μm；几何+光学两级放大架构；支持吸收衬度和相位衬度两种衬度模式 ；支持纵向拼接、定向放大技术；高能量微聚焦闭管式X射线源，最高电压160kV，最低电压30kV，最大功率25W；4轴高精度马达样品台；原位力学及变温载台。

主要应用：材料三维无损成像分析；观察失效机理、降解现象和内部缺陷；能源电池领域，半导体封装，芯片、电子元件等性能或寿命与老化效应的成像检查与研究；增材制造、生命科学、地质科学，考古等领域的样本三维无损检测；原位和4D成像，模拟温度、湿度、应力等环境变量对材料的影响。

共享要求：预约前必须提前联系负责老师。

仪器说明：德国蔡司Xradia 620 Versa三维X射线显微镜，采用光学加几何两级放大成像架构，可实现大样品高分辨率成像。闪烁体和光学物镜耦合技术可以实现高衬度和增强的相位衬度成像。基于高分辨率和衬度，Xradia 620 Versa拓展了无损成像的研究界限。创新的数据采集工作流可以实现无需对样品切割即能搜索发现感兴趣区域并进行高分辨成像。实现了从探索到发现的工作流无缝衔接。

收费标准

亲自上机测试费用标准：正常三维成像： 00:00-08:00 400元/小时 08:00-24:00 600元/小时 原位三维成像： 00:00-08:00 600元/小时 08:00-24:00 900元/小时

委托测试费用标准：普通三维成像： 2000元/样 垂直拼接三维成像： 额外加收800元/次 宽视场三维成像： 额外加收800元/次 内部定位三维成像： 额外加收800元/定位点 原位实验三维成像： 3000元/样 (拉伸、压缩、变温)

送样测试费用标准：普通三维成像： 2000元/样 垂直拼接三维成像： 额外加收800元/次 宽视场三维成像： 额外加收800元/次 内部定位三维成像： 额外加收800元/定位点 原位实验三维成像： 3000元/样 (拉伸、压缩、变温)