性能指标：①测量范围直径600mm； ②测量精度达±50nm； ③可测量包括自由曲面在内的任意方程可描述曲面； ④能够扫描各种表面类型如透明材料、金属部件和研磨表面。

主要应用：基于多波长干涉技术（MWLI®）的干涉式扫描测量系统，可以实现光学元件面形的快速测量；

共享要求：（1) 样品表面形状为非球面、球面、平面、波浪面(鸥翼面）、矩形元件(不连续面)、衍射面、圆锥面、自由曲面等； （2）样品直径≤600mm； （3）样品最大SAG高度（凸面)≤125mm ；最大SAG高度〔凹面)≤50mm； （4）90度斜坡最大直径≤460mm； （5）样品重量≤75kg；

仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

收费标准

亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

委托测试费用标准：1200 元/小时

送样测试费用标准：1200 元/小时