JHL-MW6000微波电源系统是微波与真空技术研究室自主研发的大功率微波发生装置。该系统能提供6kW, 2.45GHz微波能量,且微波功率调节至最大输出功率的10%以下仍可保证功率波动小于2%,是一种高性能、低成本的微波发生器。JHL-MW6000微波电源系统稳定的功率输出特性,使其非常适用于控制等离子源,通常可用至等离子刻蚀(PE)、等离子增强化学气相沉积(PECVD)、离子注入、离子辅助沉积等应用中。
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