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真空度检测方法、装置、电子设备、存储介质及系统
类型:
知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:王凤双; 侯少毅; 胡强; 卫红; 刘乔; 祝经明; 毕诗博

本申请属于真空计量技术领域,公开了一种真空度检测方法、装置、电子设备、存储介质及系统,通过获取内环电容产生的第一电压信号和外环电容产生的第二电压信号;分别对所述第一电压信号和所述第二电压信号进行峰值检测处理,得到第一峰值信号和第二峰值信号;对所述第一峰值信号和所述第二峰值信号进行差分处理,得到电压差值信号;对所述电压差值信号进行计算处理,得到真空度检测结果,其中差分处理可以减少信号干扰,提高检测精度,从而保证真空度检测结果的可靠性。

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