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金属反射镜高效超精密制造
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科技产品-先进制造与自动化
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由于铝合金出色的可车削性能,它具有加工周期短,加工成本低的特点。6061铝合金常被用于红外波段的反射镜材料。但是由于铝合金是塑性材料,抛光性能非常差。经过传统的抛光,铝合金的表面会遍布划痕,单点金刚石车削的精度很难达到可见光应用的精度,这一点也制约其在可见光领域的应用。团队开发了一种基于纳米化学去除结合离子束修形的特殊抛光工艺,使铝合金能进行超光滑抛光,兼顾了高精度面形和高表面质量。这种特殊工艺和前道单点金刚石工序相结合,继承了铝合金加工周期短的特点,又能满足可见光范围的应用。实现了全铝反射镜在光学工程技术上的全方位应用,使得高精度、高效率以及低成本的可见光光学系统成为可能。目前6061铝合金反射镜最高面面形RMS优于10nm;表面粗糙度Ra值优于3nm。

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