仪器所在单位内部编码：

0200452

规格型号：

中科信佳 CK-450

主要技术指标：

系统极限真空：≦2×10-5Pa(经烘烤除气后)； 系统真空捡漏漏率：≦5.0×10-5Pa.1/S； 系统抽速：冲干燥氮气破真空后 20 分钟内再抽气，30 分钟可达到 6.6×10-4Pa； 停泵关机 12 小时后真空度：≦1Pa

主要功能：

它可用于在高真空背景下，充入高纯氩气，采用磁控磁射方式制备 纳米级单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金化合物、氧化物等， 应用于材料研究，功能器件开发。