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激光强度均匀化装置
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知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:赵帅; 张玉莹; 郑昕

本发明提出一种激光强度均匀化装置,光源的出射光沿第一方向延伸并依次穿过准直扩束透镜、啁啾阵列透镜组件及聚焦透镜;透光介质朝向聚焦透镜的一侧具有第一安装面,透光介质朝向准直扩束透镜的一侧具有第二安装面;多个第一子透镜沿第二方向依次设置在第一安装面上;多个第二子透镜沿第二方向依次设置在第二安装面上;第二方向与第一方向垂直,透光介质在第一方向上的宽度朝第二方向呈渐缩设置。本发明技术方案采用啁啾阵列透镜组件的非周期性结构,抑制多光束干涉效应,提高平顶光束光强的均匀程度,更适用于相干性较强的光源普适性强。

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