性能指标：①形貌测量精度优于0.08nm； ②台阶测量准确度≤ 0.75%；重复性≤ 0.1% @ 1 σ； ③RMS重复性：＜0.005nm@ 1σ； ④具有1X、0.5X、2X目镜； ⑤具有10X、20X、50X物镜；

主要应用：基于白光干涉技术反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌，是光学表面质量测试的必要手段。

共享要求：（1）表面可为：透明、不透明、镀膜、非镀膜、反射、弱反射 （2）最大尺寸：89mm×203mm×203mm（高×宽×长), （3）最大倾斜容忍度：55°-光滑样品；86°-散射面 （4）反射率0.05%-100%

仪器说明：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

收费标准

亲自上机测试费用标准：仅可委托相关技术人员操作，不可自行操作。

委托测试费用标准：500 元/小时

送样测试费用标准：500 元/小时