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性能指标：1.自动样品寻找，聚焦功能Part Find； 2. 智能测量模式 Smart setup CCD：1600X1200 pixels； 3. 垂直精度：0.06 nm； 4. 可测表面形貌（粗糙度 平面度 平行度 台阶高度 锥角）； 5. 可测几何特征（关键孔径尺寸、曲率半径、特征图形的位置和数量）
主要应用：应用于磨损表面或新加工表面的测量分析，采用传感器高精密地测量轮廓，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。
共享要求：无
仪器说明：无
收费标准
亲自上机测试费用标准：单一200/条（包含原始数据+一张图片），多余的图片一张五十，拼接400
委托测试费用标准：单一200/条（包含原始数据+一张图片），多余的图片一张五十，拼接400
送样测试费用标准：单一200/条（包含原始数据+一张图片），多余的图片一张五十，拼接400
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