发明人：解路; 卢静; 科萨廖夫·弗拉基米尔·费多罗维奇; 汤烈明; 李挺

本发明提供了一种薄膜制备方法，采用分散稳定性良好的无机粉末颗粒悬浮液作为喷涂原料，控制悬浮液的流速和雾化压力，将悬浮液雾化成微米级的液滴并送入喷枪内，利用喷枪高能压缩气体对悬浮液雾化液滴的热传导迅速蒸发液滴，并通过气体的巨大动能对蒸发后的干态粉末粒子进行加速，驱动粒子撞击基体表面，通过粒子的塑性变形和后续粒子的夯实作用，形成薄膜，工艺简单，成本较低，且涂层厚度可达到0.1～25μm，相对传统喷涂技术的干态微米级颗粒原料，可以极大地减小薄膜的厚度，而且解决了传统喷涂技术难以喷涂超细粉末的问题。