性能指标：1.多种工作模式：轻敲模式、接触模式、定量相位成像模式、横向力模式、压电力显微镜模式、双频共振追踪压电模式、静电力显微技术、开尔文显微镜模式、磁场力显微技术、损耗因子力学成像、力曲线、力阵列测量、纳米刻蚀、纳米操纵、高次谐波成像模式等； 2.智能探针校准：不需要探针接触基底即可直接标定探针微悬臂弹性常数和灵敏度，避免传统方法为标定灵敏度需测试前要探针与基底先要接触一次而污染探针； 3.扫描器：为保证大范围扫描的水平线性，采用平板扫描器，非管式扫描器，由三根独立的压电陶瓷管分别驱动X、Y和Z方向运动，每个轴配有单独的闭环传感器； 4.使用同一个扫描器，XY扫描器范围不小于120 μm×120 μm，Z轴扫描器不小于15 μm； 5.更换扫描范围无需更换扫描器； 6.采用对温度不敏感的闭环传感器，无需定期校准； 7.激光器光源为低相干性的红外线（860 nm）超发光二级管； 8.三个扫描轴至少都带有独立的闭环传感器，XY轴闭环传感器噪音小于0.6 nm，Z轴闭环传感器噪音小于0.25 nm，直流激光探测器噪音<20 pm，直流/交流高度噪音<50 pm； 9.样品尺寸：直径不小于80 mm，Z方向不小于30 mm； 软件支持图像拉平，高斯滤波，高通滤波，低通滤波，图像清洁，图像反转，傅立叶变换，两幅图像相减，图像旋转，图像缩放等功能。横截面分析，台阶高度检测，PSD分析，颗粒尺寸分析，面积计算，体积计算，粗糙度分析，斜率测量，表面纹理测量，二维图像显示，三维图像显示等功能。

主要应用：一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪。

共享要求：无

仪器说明：无

收费标准

亲自上机测试费用标准：600元/小时

委托测试费用标准：800元/小时

送样测试费用标准：800元/小时