发明人：杨晓峰; 胡绘钧

本申请公开了一种在衬底材料的钝化层上形成三维图形结构的方法。该方法包括以下步骤：在衬底上制备钝化层；提供探针，所述探针位于所述钝化层上方；加热所述探针至能将所述钝化层汽化的温度，并将所述探针靠近所述钝化层；根据预定的三维图形在所述钝化层上方移动所述探针以将所述钝化层的一部分汽化，从而在所述钝化层上形成三维图形。根据本发明的方法，能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。