发明人：黄兴; 黄子祥; 曹东豪; 周川堰; 周志

本申请涉及真空干燥箱技术领域，具体提供了一种用于真空干燥箱的减振系统及方法，该系统包括：底架；四个三向主动隔振器，矩形阵列在底架上；两个被动隔振器，分别设置在矩形的两个长边的中点上；第三温度传感器，设置在真空干燥箱的底部；控制器用于根据第一温度信息、第三温度信息和预设的第一冷却组件传递函数获取第一PID控制器前馈传递函数，并根据第二温度信息、第三温度信息和预设的第二冷却组件传递函数获取第二PID控制器前馈传递函数，还用于根据第一PID控制器前馈传递函数调节第一冷却组件，并根据第二PID控制器前馈传递函数调节第二冷却组件；该系统能够精确调控隔振器的温度和有效地延长有机发光二极管的使用寿命。