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自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质
类型:
知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:姚龙; 马聪伟; 郭徽

本申请涉及半导体制造领域,具体而言,涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质,包括以下步骤:获取负载端的相位信息U<subgt;Phase</subgt;以及幅值信息U<subgt;MAG</subgt;,根据相位信息U<subgt;Phase</subgt;和幅值信息U<subgt;MAG</subgt;计算获取阻抗判断信息U<subgt;rms</subgt;;在阻抗判断信息大于预设的匹配电压阈值时,重复执行第一调节命令,直到阻抗判断信息小于或等于匹配电压阈值;第一调节命令包括:仅调节第一可调电容C1,使阻抗判断信息U<subgt;rms</subgt;调节至极小值;仅调节第二可调电容C2或第三可调电容C3,使阻抗判断信息U<subgt;rms</subgt;调节至极小值,该方法通过循环调整使阻抗判断信息U<subgt;rms</subgt;产生新的最小值直到小于或等于匹配电压阈值,从而快速实现阻抗匹配。

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