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超薄超短物像距高分辨率检测成像系统
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科技产品-先进制造与自动化
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为解决有限空间内12寸晶圆表面~10μm级检测需求(可见光波段),开发由可见光均匀线光源、折转棱镜、大靶面超短物像距高分辨率低畸变检测成像镜头组成的超薄超短物像距高分辨率检测成像系统。设计高面形精度的折转棱镜进行光路折转,实现照明系统与成像相机的水平布置,极大降低整个系统径向尺寸;设计纯球面系统的对称混合型光学系统,极大降低整个系统轴向尺寸,且具有高分辨率、高像面均匀性与低畸变等优点。

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