发明人：陈云; 麦锡全; 陈新; 高健; 汪正平; 杨海东

一种微纳孔阵列的加工装置，包括支撑架、激光装置、真空反应装置、磁场装置和操作台；真空反应装置包括反应装置、吸附机构、真空导气管和真空泵；反应装置包括上盖、反应盒体和底盘；反应盒体安装于激光装置的正下方，其侧壁通过真空导气管连接真空泵；底盘安装于反应盒体的底部，其表面开设有环形凹槽，其底部开设有通孔；吸附机构包括吸附底盘和压力调节器；吸附底盘安装于底盘的底部，其顶部接通于通孔；压力调节器一端连接于吸附底盘，另一端连接真空泵；本发明提出的微纳孔阵列的加工装置，通过结构的优化设计，实现能够采用微纳复合结构金属粒子进行微纳米加工的方式，提高加工的稳定性，提高加工质量的可控性。