发明人：杨晓峰; 郝凌凌; 张志平

本发明公开了一种基于自混合全息干涉的位移测量装置及方法。位移测量装置包括激光器、信号探测器件和信号处理电路，其中所述激光器具有激光谐振腔，所述激光谐振腔的两端设有第一腔镜和第二腔镜，所述激光器发出的测量光束携带被测对象的位移信息通过所述第一腔镜返回所述激光谐振腔，并与所述激光谐振腔中的参考光束发生自混合全息干涉形成干涉光，所述干涉光通过第二腔镜输出并经由所述信号探测器件接收，所述信号探测器件用于将接收到的光信号转换成电信号，所述信号处理电路用于将所述电信号处理成可供上位机读取并分析的位移信号。本发明一方面大大降低了光路调节的难度，另一方面节省了成本，同时还能够减小空间的占用。