发明人：范燕; 谭军

本发明涉及材料检测及分析技术领域，特别涉及一种多层样品结构的数据分析方法、系统及介质，通过获取各层待测材料层所对应的元素的谱峰数据，再针对任一待测材料层，根据谱峰数据中的各元素的变化趋势，获得各元素在各时间点所对应的实时含量，然后对满足对称要求的所有双峰谱图进行拟合处理，形成谱峰时间变化曲线图，并将各当前拟合谱峰曲线中除目标曲线段之外的曲线段的实时含量均设置为0，获得对应的当前曲线段，根据当前曲线段，输出多层样品结构的结构层信息的方式对获取得到的谱峰数据进行处理，使得多层样品结构的各待测材料层的谱峰时间变化曲线图中仅存在对应的当前曲线段，避免了各待测材料层的谱峰时间变化曲线图之间的相互影响。