性能指标：扫描电镜： 二次电子像分辨率： 0.6 nm @ 15kV–2kV范围内； 0.7 nm @1 kV； 1.0nm @0.5KV。 放大倍率：范围20～1,000,000倍（根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准）。 加速电压：50V～30 kV；着陆电压最低达20V; 拥有电子束减速模式，-50V至-4KV。 实时能谱仪（EDS）： 元素分析范围：Be4～Am95； 能量分辨率：Mn-Kα≥127 eV； 最大输入计数率≥200万CPS，最大输出计数率≥85万CPS； 在0~200kcps范围内的分辨率稳定性＞90%。 电子背散射衍射仪（EBSD）： 扫描和指标化速度：1400点/秒; 像素分辨率：640（H）×480（V）; 以Ni为标样，在5nA条件下能保证99%的标定成功率； 取向测量精度：优于0.1度；  后处理软件包含有且不限于如下功能： 晶粒度统计； 晶界分析； 物相鉴定； 极图和反极图分析； 可自动剥离形变和再结晶区。

主要应用：● 表面微观形貌表征 ● 元素定性和半定量分析，可以实现点、线和面分析。 ● 电子背散射衍射EBSD分析

共享要求：磁性样品请提前告知

仪器说明：Verios 5 UC 扫描电镜为Thermo Scientific公司最新的配备有单色器的极高分辨率场发射扫描电镜，在1-30keV范围内具备亚纳米级分辨率（0.6nm) ，应用在尖端半导体制造和材料科学中，能满足材料高分辨率微纳米尺度表面形貌表征和元素分析的需要。该款电镜具备等离子清洗（Plasma cleaner）功能，可以清理小分子有机物以及在电子束轰击下产生的积碳污染物。此外，电镜配备了多个不同用途的检测探头，包括镜筒内3个超高分辨的电子探头（TLD、ICD、MD）、插入式背散射探头DBS和样品仓内二次电子探头ETD，具有丰富的成像效果。

收费标准

亲自上机测试费用标准：工作日300元/小时；非工作日400元/小时；需培训后方可自主上机

委托测试费用标准：SEM800元/小时；EDS另加200元/小时；EBSD另加400元/小时

送样测试费用标准：SEM800元/小时；EDS另加200元/小时；EBSD另加400元/小时