主要技术指标：
1）采用进口微波电源，微波发生器工作频率：2450±25MHZ，输出功率：0.6KW～10KW连续可调；2）微波泄露≤2mw/cm2；3）微波发生器电源配有LCD显示屏，能够实时显示微波入射和反射功率；4）电源电压在265～410V变化；且输出功率为10KW时，输出功率变化小于2％；5）10KW磁控管；6）在0.6KW～10KW功率范围内，功率稳定度优于±1%，纹波优于±2%；7）微波传输系统：三端环形器、三销钉调配器、阻抗调配器、激励腔、矩形波导及转换波导、大功率负载等，保证等离子体终端负载的驻波系数(VSWR)在1.5~20大幅变化时仍能调配和稳定工作；大功率负载上有反射检波器，以检测反射功率的大小；8）冷却水流量：35L/min，水压：5bar（kg/cm2）。

主要功能：
在设置腔体压力150Torr，H2流量500SCCM，CH4流量25SCCM，N2流量0.1SCCM条件下：测得钻石表面温度（距离表面0.5毫米）为800~850℃。在距离200毫米范围取3个测量点测量镀膜厚度为13.79μm、13.90μm、14.12μm，镀膜均匀度为2.37%。

主要学科领域：
物理学,材料科学

服务内容：
提供测试服务

预约服务网址：
https://gxw.jihualab.com:8093/#/home