射频电源、微波电源等其它半导体关键零部件是发展我国半导体装备的关键着力点，推动高端半导体装备零部件的技术研发与创新，解决半导体装备的卡脖子问题，是实现我国半导体技术自主可控的必要途径。JHL-RF6000-60M射频电源是常用等离子体发生器之一，是等离子清洗机、刻蚀机、薄膜沉积设备的核心零部件。射频电源应用领域主要在电感耦合等离子设备、等离子化学气相沉积等半导体设备中，在晶体生长、离子蚀刻及干法去胶的半导体工艺起关键作用。