发明人：姚峥; 李元丽; 邓康梅; 何兹丽; 吕思敏

本实用新型公开了一种用于磁控溅射的阴极装置，中空的壳体与磁控溅射仪的电源负极电性连接，壳体内靶材上方还安装有磁体组、磁体安装板和旋转驱动组件；壳体的底部设有敞口；靶材的底面外露于敞口；磁体组包括两个螺旋形磁体；两个螺旋形磁体间隔并错位置放，两个螺旋形磁体的顶面分别抵接磁体安装板的底面；螺旋形磁体的底面和顶面分别为两个磁极端，两个螺旋形磁体的磁极方向相反，两个螺旋形磁体的底面的所在平面与靶材的底面的所在平面平行；向下延伸的旋转驱动组件的驱动端与磁体安装板的顶面连接。旋转的磁约束区域均匀地覆盖靶材的底面，可有效提高磁控溅射过程中的靶材的消耗均匀性，提高靶材的有效使用率。