规格型号：Thermo Fisher Quatro S     
主要技术参数：
（1）电子光学系统与分辨率——加速电压：0.2 kV-30 kV；着陆电压：20 V-30 kV；配电子束减速模式；电子束流大小：1 pA-200 nA连续可调；放大倍数：20倍-100万倍；二次电子像分辨率：高真空模式：1 nm（30 kV）；低真空模式：1.3 nm（30 kV）；环境模式：1.3 nm（30 kV）；背散射电子像分辨率：2.5 nm（30 kV）。
（2）能谱仪（EDS）——2个能谱探测器，每个探测器有效面积65 mm²；能量分辨率Mn-Kα≤ 127 eV（130000 cps）；元素分析范围：Be4-Cf98。
（3）电子背散射衍射仪（EBSD）——电子图像分辨率≥8192×8192；EBSD面分布图分辨率≥4096×4096。

主要功能：表面形貌、微区组分、结构与元素分析等。
送样要求：需标注导电与否，是否需要喷金。

收费标准：微区形貌分析400元/样；EDS能谱分析600元/小时；EDS成像600元/小时；EBSD 240元/样；样品喷金处理80元/次

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