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外延炉吹扫冷却系统、方法、装置、电子设备及存储介质
类型:
知识产权-专利
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专利类型:发明专利
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发明人:盛飞龙; 毛朝斌; 罗骞; 伍三忠; 胡承; 王鑫

本发明涉及外延生长技术领域,具体公开了一种外延炉吹扫冷却系统、方法、装置、电子设备及存储介质,其中,系统包括:冷却室,用于放置外延片且内部充满用于对外延片进行吹扫冷却的吹扫气体;气体温度计,用于获取吹扫气体的第一温度信息;温度调节机构;测温计,用于获取外延片的第二温度信息;气体循环机构;控制器,用于控制吹扫气体进行循环流动而对外延片进行循环吹扫冷却,并根据第二温度信息控制温度调节机构调节吹扫气体的第一温度信息以使外延片逐渐降温;该系统根据第二温度信息控制温度调节机构调节吹扫气体的第一温度信息,防止吹扫气体和外延片之间的温度差值过大导致外延片冷却时产生范性形变和位错。

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