本申请属于喷墨打印技术领域，公开了一种高精度大尺寸六自由度微动装置，包括：下固定板；上安装板，用于安装工件放置台；气浮挠性连接单元，连接在上安装板和下固定板之间，并能够相对下固定板沿X轴和Y轴移动；四个水平驱动单元，围绕气浮挠性连接单元呈十字分布，其中两个沿X轴方向对称设置并用于驱动上安装板沿Y轴移动，另外两个沿Y轴方向对称设置并用于驱动上安装板沿X轴移动；至少三个竖直驱动单元，围绕气浮挠性连接单元均匀排布，竖直驱动单元连接在下固定板和上安装板之间，并用于驱动上安装板相对下固定板沿Z轴移动；能够实现三个轴向的位置和三个轴向的转动角度的精确微调，有利于精确调整工件放置台的位置和角度。