主要技术指标：
技术参数要求： ★（1）激光器：准分子激光器1台，波长193nm；重频≥300Hz；采用预电离技术，采用固态开关； （2）激光器工作物质：随系统配备一瓶16LArF预混气；气柜：包括气瓶固定装置调节器，真空泵和卤素过滤器内置于激光器； （3）缩倍比控制范围：5-15X； （4）能量衰减器控制单元步进1%； （5）多图案掩膜版孔位：≥10个，最高32个，切换方式：软件电控控制； （6）工业加工头F：4.7光学分辨率1.5um； （7）XYZ轴位移台范围：≥300*300*50mm;XY精度：±1.5um;Z精度：5um;Z

主要功能：
用于机器人微机械各种材料的高精度加工

主要学科领域：
物理学,材料科学

服务内容：
提供测试服务

预约服务网址：
https://gxw.jihualab.com:8102/#/home