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揭榜挂帅
科技副总
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主要技术指标：
技术参数要求：
★（1）激光器：准分子激光器1台，波长193nm；重频≥300Hz；采用预电离技术，采用固态开关；
（2）激光器工作物质：随系统配备一瓶16LArF预混气；气柜：包括气瓶固定装置调节器，真空泵和卤素过滤器内置于激光器；
（3）缩倍比控制范围：5-15X；
（4）能量衰减器控制单元步进1%；
（5）多图案掩膜版孔位：≥10个，最高32个，切换方式：软件电控控制；
（6）工业加工头F：4.7光学分辨率1.5um；
（7）XYZ轴位移台范围：≥300*300*50mm;XY精度：±1.5um;Z精度：5um;Z
主要功能：
用于机器人微机械各种材料的高精度加工
主要学科领域：
物理学,材料科学
服务内容：
提供测试服务
预约服务网址：
https://gxw.jihualab.com:8102/#/home
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