发明人：朱云龙; 周志; 李奇; 王冠明; 汪书辉

本发明涉及一种OLED基板微调用的高精度六自由度微动台，属于显示面板加工技术领域，其包括密封箱体、气体纯化器和均位于密封箱体中的喷墨打印设备和六自由度运动平台。密封箱体设有回风进口和回风出口，以及连通回风进口和回风出口的回风通道。密封箱体中设有用于驱动密封箱体中的气流从回风进口吹向回风出口的风机单元。密封箱体中设有沿密封箱体中气体的流通方向依次布置的过滤网和稳流板，六自由度运动平台位于稳流板背离过滤网的一侧。气体纯化器的排气口与密封箱体连通。在密封箱体中营造稳流稳压环境，使得喷墨头喷出的液滴精准到达待加工基板上目标位置，提升加工精度。